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最新消息| 二十余年厚積薄發遼寧躋身半導體裝備產業第一陣營 | 2023-07-11 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"https://k.sina.com.cn/article_2081296667_7c0e111b02701110h.html" 在東北老工業基地遼寧，以半導體為主業的遼籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科儀、現有業務囊括半導體裝備業務的新松機器人、擬上市企業和研科技等，遼籍半導體產業集群已經初具規模。 近日，證券時報記者實地采訪時了解到，借助資本市場的力量，遼寧半導體企業發展速度得到進一步提升，遼寧有望成為國內半導體裝備產業的“第三極”。預計到2024年，遼寧沈陽的半導體裝備產業總產值將會超過100億元。 迎來收獲期 據遼寧省半導體行業協會秘書長、富創精密董事長兼總經理鄭廣文介紹，早在本世紀初期，遼寧省相關政府部門、學界人士和企業家通過反復討論達成共識，將半導體裝備產業確定為發展方向，經過20多年的不懈努力，厚積薄發，如今終于迎來收獲期。 程龍目前擔任新松機器人半導體裝備業務負責人，在新松機器人內部，程龍和他的半導體裝備團隊被寄予厚望。 “目前，公司半導體設備產業化應用已初具規模，產品包括大氣機械手、真空機械手等系列產品，以及設備前端模塊（EFEM）、真空傳輸平臺，主要應用于薄膜、離子注入等工藝環節及領域，廣泛服務于硅片生產、晶圓加工、先進封裝及封裝測試等半導體制造全產業鏈，服務的下游行業主要是半導體工藝設備廠商。”程龍向證券時報記者表示。新松機器人的全資子公司沈陽新松半導體設備有限公司主營為半導體裝備業務，以子公司經營平臺的形式獨立發展，意味著該公司將集中人才、資金等優質資源，為半導體子公司賦能，加速使其發展成為公司支柱業務之一。 在遼寧省上市公司當中，芯源微、神工股份、拓荊科技、富創精密、連城數控等5家公司的主業均是與半導體相關。其中，芯源微是國內唯一能夠提供前道量產型涂膠顯影設備的廠商，同時，其在前道物理清洗、后道先進封裝及化合物半導體等領域也都保持著國內細分市場的龍頭地位；拓荊科技是國內唯一一家產業化應用的集成電路PECVD、SACVD、HDPCVD設備廠商，也是國內領先的ALD設備廠商；富創精密是國內半導體設備精密零部件的領軍企業；神工股份主要生產半導體用單晶硅材料等；連城數控是光伏及半導體行業所需晶體材料生長、加工設備及核心技術等多方面支持的集成服務商。另外，新三板掛牌企業中科儀是國內唯一在集成電路領域實現批量應用的干式真空泵企業；擬上市公司和研科技主要生產半導體用劃片設備等。 鄭廣文說，遼寧省半導體裝備產業目前已處于國內第一陣營，在該領域的優勢十分明顯。 關鍵字標籤：油封規格 |
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